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日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)

訪問次數(shù):1765

更新日期:2024-03-19

簡(jiǎn)要描述:

日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-708系列
離子濺射設(shè)備,用于大型基材的全涂層
濺射靶材的尺寸為1英寸,例如4'/ 5'/ 6'/ 7'/ 8'。
在形成微通道流動(dòng)路徑以及濺射薄膜制造時(shí)支持PDMS表面處理

日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)
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日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-708系列


特征


  • 離子濺射設(shè)備,用于大型基材的全涂層

  • 濺射靶材的尺寸為1英寸,例如4'/ 5'/ 6'/ 7'/ 8'。

  • 在形成微通道流動(dòng)路徑以及濺射薄膜制造時(shí)支持PDMS表面處理

  • 配備涂布模式/蝕刻模式

應(yīng)用/結(jié)果示例


  • 各種設(shè)備的電極膜附件

  • 反光膜的制造應(yīng)用

  • 樣品表面親水處理的應(yīng)用(蝕刻模式)

  • PDMS表面處理應(yīng)用程序(蝕刻模式)等

日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-708系列

基本規(guī)格


陰極φ4-8英寸/ 2極電極
濺射電流
蝕刻電流
0-50mA(包括電流表)
濺射電壓
蝕刻電壓
0.8 / 1.4kV
氣體導(dǎo)入機(jī)制針閥
真空泵直連式旋轉(zhuǎn)泵:100l / min(有自動(dòng)泄漏)
箱體尺寸內(nèi)徑φ240mmx D240mm(SUS制)
樣品交換方法前門開合式
樣本量z大φ4?8英寸
尺寸(寬/深/高)主體:282/450 / 440mm
RP:460/175 / 265mm
重量身體:約20kg
RP:23kg


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