valcom傳感器在半導(dǎo)體和電子相關(guān)應(yīng)用示例

發(fā)布日期：2023-03-22      瀏覽次數(shù)：1017

valcom傳感器在半導(dǎo)體和電子相關(guān)應(yīng)用示例

管理各種壓力（供氣/排氣、大氣壓回流、泄漏、清潔）、真空壓力和各種成型載荷（表面、拋光、裝配）。

各種設(shè)備的壓力監(jiān)控（例如蝕刻/CVD等）




• 1供氣壓力監(jiān)測

• 2確認燃氣面板管道泄漏

• 3確認真空到達腔室

• 4確認腔室內(nèi)恢復(fù)到大氣壓

• 5檢查渦輪泵切換的真空壓力

• 6廢氣處理設(shè)備壓力監(jiān)測

壓力傳感器

• VSST（SF/RR/WT/WF）

• HS1/HV1

• VSHS/VSHT

• VCCP

指示器

• 繽彩 F3 （過程輸入）

• VSM3B

• VMM7（進程輸入）

• VMM6（進程輸入）

純水壓力監(jiān)測



壓力傳感器

• VESV/VESI

• 維西姆□□A

• VPRF （過程輸出）

指示器

• 繽彩 F8 （過程輸入）

• VSM3B

• VMM7（進程輸入）

• VMM6（進程輸入）

半導(dǎo)體前端工藝拋光期間的負載控制



負荷

• VLS

• VLSS-C

指示器

• 華彩F3（應(yīng)變片輸入）

• VGM

• VGM2A/B

后處理成型期間的負載監(jiān)控



負荷

• VLC-G811

• VLC-G510A

• VU93

指示器

• 華彩F3（應(yīng)變片輸入）

• VGM

• VGM2A/B

• VGM4

各種圓盤表面拋光期間的負載控制



負荷

• VLS

• VLSS-C

指示器

• 華彩F3（應(yīng)變片輸入）

• VGM

• VGM2A/B

各種電子元件的壓力負載監(jiān)控



負荷

• VLC-G811

• VLC-G510A

• VU93

指示器

• VLGM4

• VGM

• VMM7 （應(yīng)變片輸入）

• VMM6 （應(yīng)變片輸入）